Интересные статьи:
Карбиды металлов и спеченные твердые сплавы тугоплавких металлов
Производство спеченных твердых сплавов на основе карбидов металлов относится к классической области порошковой металлургии. В начале в этих сплавах использовался почти исключительно карбид вольфрама, однако по мере развития производства твердых сплавов стали использовать и карбиды других металлов, в том числе...
Гафний
В производстве чистого циркония гафний получают в виде побочного продукта, отделяя его от циркония. В цирконовых рудах всегда содержится от 0,2 до 15 % гафния (от общего содержания циркония в руде)...
Титан
Титан, по-видимому, является одним из наиболее важных тугоплавких металлов, используемых в технике. Достижения в области производства титана очень велики, сейчас титан получают в больших количествах...
Влияние атомарного водорода НА СТРУКТУРЫ МЕТАЛЛА ПОЛУПРОВОДНИКА |
07-12-2023 |
Перед измерением обработанных в Н образцов остатки пленки никеля зтравлювалися. Выявлено, что при обработке структуры в Н течение 15 мин. ВАХ имеет явно нелинейный вид и соответствует диодной структурам с pn переходом (рис. 5, бг). Наиболее резкое диодная зависимость наблюдалась при времени обработки 30 мин. (Рис. 5, в). Дальнейшая обработка в Н приводила к «по мягшення» ВАХ (кривая 4, рис. 5), что обусловлено распылением слоев германия, легированных никелем, снижением общей концентрации никеля, в том числе и концентрации электрически активных атомов никеля в приповерхностных слоях.
Сканирование вдоль шлифа, выполненного шлифки лей (диаметр 150 мм), показало, что глубина залегания pn перехода структуры (рис. 5, в) не превышает 0,5 мкм.
Таким образом, обнаружено, что под воздействием атомарного водорода в системе NiGe образуется pnперехид, который имеет небольшую глубину залегания вследствие малого коэффициента диффузии никеля в германии.
ВЫВОДЫ
Выявлены изменения параметров кремниевых подложи нок, которые нужно учитывать при разработке технологий, связанных с водородом. Даже непродолжительный контакт (3 мин) Si с Н приводит к изменению потенциала поверхности (до 0,3 эВ), которая соответствует увеличению работы выхода. Найдено, что взаимодействие атомарного водорода с поверхностью определяется толщиной, качеством окиси и ориентацией поверхности [поверхность Si (111) испытывает большее влияние, чем (100)]. Изменения поверхностного потенциала на свижопротравлених поверхностях носят длительный характер.
Найдено, что под действием атомарного водорода меняется «пятка» прямой ветви ВАХ (в среднем на 0,2 В).
Выявлено, что процессом, который влияет на вид ВАХ при обработке структур металл германий в отличие от структур на основе кремния, является процесс введения атомов металла с пленки в приповерхностные слои кристалла. Такое различие во взаимодействии повязанная с отсутствием плотного слоя естественного окисла на поверхности германия.
На основе выявленных процессов показана возможность управления видом ВАХ пленочных структур на основе как Si, так и Ge. Это может быть полезным при создании низкотемпературной технологии водородной обработки пленочных структур.
Обработка металлов.
Роль химии в создании новых материалов
Ультратонкие порошки
Загрязнение среды тяжелыми металлами